Thэлектронная функция:   Функция системы химического осаждения из паровой фазы заключается в нанесении тонких пленок на подложку, улучшении свойств материала, производстве функциональных устройств, модификации поверхности, точном контроле толщины тонких пленок, улучшении качества продукции, помощи в исследованиях и разработках. новых материалов и использоваться в производстве интегральных схем и т. д. с преимуществами высокой управляемости процесса, возможности крупномасштабного производства и, возможно, более низкой стоимости.