Концентрация газа (включая обнаружение утечки газа) технология обнаружения имеет широкий спектр применений, среди которых обнаружение утечек газа вакуумного камерного типа технология является распространенной технологией, которая определяет газонепроницаемость продуктов путем обнаружения концентрация следовых газов.

В технологии обнаружения утечек газа с вакуумной камерой в качестве индикаторного газа обычно используется газообразный галоген, водород или гелий. Включает в себя камеру обнаружения, клапан вакуумной откачки, вакуумный насос, клапан датчика газа, датчик газа, клапан индикаторного газа и источник индикаторного газа. Во время обнаружения сначала откройте клапан вакуумной откачки, используйте вакуумный насос, чтобы накачать камеру обнаружения до высокого вакуума, а затем откройте клапан индикаторного газа и источник индикаторного газа. Заполните индикаторным газом обрабатываемую деталь, наконец, откройте клапан датчика газа и используйте датчик газа для определения концентрации индикаторного газа вне проверяемой детали. Если обнаруженный сигнал индикаторного газа превышает установленное значение газового датчика, проверяемая поверхность имеет утечку.

Характерной особенностью технологии обнаружения газа с вакуумной камерой является то, что заготовка помещается в камеру обнаружения. Прежде чем заготовка будет заполнена индикаторным газом для обнаружения утечек, сначала открывается клапан вакуумной откачки, и камера обнаружения нагнетается до высокого вакуума с помощью вакуумного насоса. Требования к степени вакуума очень высоки, в противном случае легко пострадает точность обнаружения. Из-за высокого вакуума скорость диффузии индикаторного газа высока, и датчик газа может быстро определить концентрацию индикаторного газа по диффузионному движению индикаторного газа в вакуумной среде без дополнительного вдоха. Система обнаружения утечек газа с вакуумной камерой отличается высокой точностью обнаружения, быстрым производственным ритмом и может осуществлять полностью автоматическое обнаружение без ручного вмешательства. Однако структура оборудования очень сложная и строгая, а стоимость изготовления оборудования высока. Из-за необходимости высокого вакуума конструкция вакуумной системы сложна, а стоимость производства также высока, продвижение и использование технологии обнаружения утечек с вакуумной камерой ограничено высокой стоимостью инвестиций в оборудование. В то же время эта технология не может определить место утечки контролируемого изделия.