Интеллектуальный вакуумный блок с ЧПУ 30 л/с, производительность 5×10⁻¹Па, максимальный вакуум

Интеллектуальный вакуумный блок с ЧПУ 30 л/с, производительность 5×10⁻¹Па, максимальный вакуум

Введение в продукт

В VET-001 используется технология комбинирования двух насосов и интеллектуальная система управления для достижения эффективного и стабильного выхода вакуумных характеристик:

▎Высокоэффективная система вакуумной откачки

Конструкция с двумя насосами: насос Рутса (производительность 30 л/с) и пластинчато-роторный насос (производительность 8 л/с) работают последовательно, обеспечивая максимальный вакуум 5×10⁻¹Па, что на 40% эффективнее системы с одним насосом и соответствует жестким требованиям к вакууму ≤10⁻¹Па (например, электронно-лучевая сварка и вакуумная термообработка).

Режим энергосбережения: интеллектуальная оценка вакуумной нагрузки, на этапе низкого вакуума работает только пластинчато-роторный насос, а насос Рутса автоматически запускается на этапе высокого вакуума, что снижает потребление энергии на 35% по сравнению с традиционными устройствами.

▎Интеллектуальная система ЧПУ

Взаимодействие человека с компьютером: 7-дюймовый сенсорный экран Weilun/Omron (с переключением на китайский и английский языки) отображает 12 параметров, таких как вакуум, скорость откачки, температура масла и т. д. в режиме реального времени, а также поддерживает отслеживание кривых исторических данных (срок хранения ≥30 дней).

Автоматическое управление: система оснащена датчиком подключения заготовки, автоматически запускается в течение 0,5 секунды после обнаружения нагрузки, автоматически сбрасывает давление и останавливается после завершения испытания; поддерживает пользовательские предустановки программы (например, сегментированное вакуумирование и настройки времени удержания давления).

▎Множество мер безопасности

Электрическая защита: обнаружение потери фазы (время отклика) < 0,1 секунды), защита двигателя от перегрузки (автоматическое отключение при превышении номинального тока в 1,2 раза), предупреждение о перегреве масла вакуумного насоса (сигнализация > 70℃).

Механическая защита: насос Рутса оснащен встроенным обратным масляным клапаном, который автоматически изолирует систему при отключении, предотвращая загрязнение вакуумной камеры парами масла; полностью закрытая рама из нержавеющей стали (уровень защиты IP54) защищена от пыли и брызг.

▎Гибкая возможность расширения

Интерфейс связи: интерфейс RS485/Modbus TCP зарезервирован для поддержки стыковки систем ПЛК и SCADA для осуществления удаленного мониторинга (например, предупреждения о вакууме в режиме реального времени и удаленной диагностики неисправностей).

Конфигурация трубопровода: 2 вакуумных трубопровода DN16 являются стандартными (с возможностью расширения до 4), подходят для фланцевого соединения KF/QF и совместимы с быстрым подключением вакуумных камер различных спецификаций.

Характеристики продукта

• Комбинация насоса Рутса и пластинчато-роторного насоса, производительность откачки 30 л/с, предельный вакуум 5×10⁻¹Па, подходит для двойных требований к высокому вакууму и высокой скорости откачки
• Сенсорный экран + полностью автоматическое управление ПЛК, поддержка 10 наборов пользовательских программ, эффективность настройки параметров увеличена на 60%
• Тройная электрическая защита от потери фазы/перегрузки/температуры масла, механическая конструкция, предотвращающая возврат масла, обеспечивает непрерывную работу в течение 7 часов в сутки
• Совместимость с протоколом Modbus, возможность подключения к заводской системе MES для управления кластером и отслеживания данных вакуумного оборудования.
• Двухходовой расширяемый вакуумный трубопровод, поддерживает фланцевый интерфейс DN16-DN50, совместим с полупроводниковым, лабораторным и другим многофункциональным оборудованием

Международный эталонный стандарт

• ISO 3668:2017 «Метод измерения производительности вакуумных насосов» (Раздел 5 Производительность откачки; Раздел 6 Предельное давление).
• GB/T 16530-2020 «Вакуумный насос Рутса» (Раздел 5.1. Предел шума; Раздел 5.2. Амплитуда вибрации).
• IEC 60204-1:2018 «Электробезопасность машин. Электрооборудование» (Раздел 8. Цепь управления; Раздел 12. Защита от перегрузки).
• ATEX 2014/34/EU «Директива по взрывозащите» (применимо к индивидуальным моделям для огнеопасных и взрывоопасных сред)

Технические параметры

Объекты испытаний и элементы контроля

Объекты испытаний:

• оборудование для вакуумного нанесения покрытий (например, камера магнетронного распыления), оборудование для производства полупроводниковых пластин (вакуумная камера для нанесения фоторезиста), лабораторная вакуумная сушильная печь/дистилляционное устройство, вакуумная упаковочная машина, оборудование для вакуумной заморозки.

Пункты осмотра:

• Вакуумные характеристики: производительность откачки (30 м³/ч при стандартном атмосферном давлении), предельная степень вакуума (5×10⁻¹Па), скорость нарастания давления (≤5 Па/мин).
• Совместимость системы: эффективность многотрубной синхронной вакуумной откачки, скорость утечки через фланцевый интерфейс (обнаружение методом масс-спектрометрии гелия ≤1×10⁻⁹Па・м³/с).
• Долгосрочная стабильность: колебания степени вакуума (≤±5%) после 8 часов непрерывной работы, повышение температуры насоса Рутса (≤20℃).
• Энергосбережение: потребляемая мощность без нагрузки (≤1,5 кВт), кривая потребляемой мощности под нагрузкой (соотношение степени вакуума и мощности).
• Показатели безопасности: сопротивление электрической изоляции (≥10 МОм), непрерывность заземления (≤0,1 Ом), время срабатывания аварийного отключения (≤2 секунд).