Устройство для вакуумного наполнения азотом VET-005 — это промышленное оборудование, которое объединяет эффективную вакуумную экстракцию и точное наполнение азотом. Оно поддерживает предельный вакуум ≤-100 кПа и стабильную подачу азота 0,7 МПа. Оно оснащено двухстанционным независимым модулем управления и подходит для электронной упаковки, новых энергетических батарей, фармацевтической упаковки и других сценариев со строгими требованиями к вакуумной среде и защите инертным газом.

VET-001 — это интеллектуальный вакуумный блок с ЧПУ, разработанный для области вакуумной техники. Он состоит из быстрого насоса Рутса (скорость откачки 30 л/с) и механического роторно-пластинчатого вакуумного насоса передней ступени (скорость 8 л/с). Предельный вакуум может достигать 5×10⁻¹Па. Он подходит для высокоточных вакуумных сценариев, таких как производство полупроводников, моделирование лабораторной вакуумной среды, вакуумное покрытие и т. д., и является основным оборудованием для испытаний вакуумной техники, НИОКР и производства.

Термовакуумная испытательная система VET-007 ориентирована на такие высокотехнологичные области, как аэрокосмическая промышленность и спутниковая промышленность, имитирует экстремальные условия космоса, имеет экстремальный вакуум 1×10⁻⁵Па и широкий диапазон температур от -180℃ до 200℃, а также объединяет функции моделирования солнечного излучения и инфракрасного нагрева для обеспечения точной испытательной среды для проверки надежности продукции.

Машина для предварительной вакуумной откачки VET-003 специально разработана для сложной компоновки производственной линии. Она реализует оптимизацию пространства и гибкую установку с помощью отдельного шасси управления. Она оснащена высокоточным вакуумным датчиком Пирани, поддерживает интеллектуальную настройку степени вакуума, обнаружение утечек и свободное согласование корпуса насоса, а также подходит для эффективной вакуумной обработки в различных сценариях, таких как охлаждение, вакуумное покрытие и лаборатории.

Трехходовая трубчатая печь высоковакуумного молекулярного насоса VET-004 специально разработана для многостанционной обработки материалов и испытаний в вакуумной среде. Она объединяет высокоэффективный молекулярный насос 600 л/с и три независимые трубчатые печи. Она поддерживает предельный вакуум ≤1,5×10⁻⁵Па и высокотемпературную совместную работу 1200℃. Она подходит для исследований и разработок высоковакуумных процессов и производства в области полупроводников, новой энергии, наноматериалов и т. д.