Трехходовой трубчатый высоковакуумный молекулярный насосный агрегат Iso3666 Скорость молекулярного насоса 600 л/с Предельное давление ≤1,5×10⁻⁵Па

Трехходовой трубчатый высоковакуумный молекулярный насосный агрегат Iso3666 Скорость молекулярного насоса 600 л/с Предельное давление ≤1,5×10⁻⁵Па

Введение в продукт

Как основное оборудование для вакуумной техники и высокотемпературной обработки, VET-004 преодолевает традиционное ограничение одной станции и принимает трехходовую параллельную конструкцию: каждая трубчатая печь имеет диаметр φ120 мм и может независимо регулироваться температурой (комнатная температура - 1200 ℃). Она оснащена молекулярным насосом 600 л/с и роторно-пластинчатым насосом 9 л/с для достижения быстрого установления вакуума от атмосферного давления до уровня 10⁻⁵Па в течение 30 минут. Оборудование поддерживает мониторинг в реальном времени нескольких параметров, таких как степень вакуума, температура и расход газа, и имеет встроенную интеллектуальную систему связи. Когда степень вакуума ниже порогового значения, автоматически активируется защитный механизм, чтобы обеспечить стабильность и повторяемость реакций материалов в высокотемпературных средах. Это идеальный выбор для университетских лабораторий, корпоративных научно-исследовательских центров и производственных линий точного производства.

Характеристики продукта

Трехходовая параллельная обработка: независимое управление трехходовыми трубчатыми печами, поддержка одновременной работы процессов с различными температурами и степенями вакуума, повышение эффективности на 300%.

Сверхвысокие вакуумные характеристики: комбинированный отвод молекулярного насоса + пластинчато-роторного насоса, предельное давление ≤1,5×10⁻⁵Па, что соответствует строгим требованиям к вакууму для осаждения тонких пленок, выращивания кристаллов и т. д.

Точный контроль температуры: каждая трубчатая печь оснащена интеллектуальным ПИД-регулятором температуры с точностью регулирования температуры ±1 ℃ и поддерживает свободную установку скорости нагрева от 0 до 20 ℃/мин.

Модульная конструкция: молекулярный насос и пластинчато-роторный насос можно разобрать для технического обслуживания, а трубчатая печь допускает быструю замену, что сокращает время простоя и затраты на техническое обслуживание.

Система безопасности: сигнализация перегрузки при высокой температуре, блокировка отключения при утечке вакуума и конструкция корпуса печи, предотвращающая ожоги, обеспечивают безопасность эксплуатации.

Адаптация к нескольким источникам газа: зарезервирован 3-ходовой интерфейс впуска воздуха (поддерживает аргон, азот, водород и т. д.), совместимый с массовым расходомером MFC для точного контроля расхода газа.

Международный эталонный стандарт

ISO 3666:2015 «Вакуумная технология. Вакуумметр. Рабочие параметры и методы калибровки». Точная калибровка вакуумных датчиков соответствует международным стандартам для обеспечения надежности данных о давлении.

ASTM E2149-13 «Метод испытания скорости газовыделения материалов в условиях динамического вакуума»: поддерживает функцию определения скорости газовыделения материалов и соответствует требованиям испытаний на совместимость с вакуумом для аэрокосмических материалов.

IEC 61010-1:2010 «Требования безопасности к электрооборудованию для измерения, контроля и лабораторного использования»: Электрическая система прошла сертификацию по защите от перегрузки и обнаружению замыкания на землю и соответствует правилам безопасности в лабораторных условиях.

GB/T 16800-2012 «Вакуумная технология. Фланец сверхвысокого вакуума»: в качестве интерфейса трубопровода используется фланец сверхвысокого вакуума CF35, а эффективность уплотнения достигает уровня утечки 10⁻⁹Па・м³/с.

Использование продукта

Материаловедческие исследования: рост углеродных нанотрубок, осаждение графеновой пленки, вакуумный отжиг металлических сплавов

Производство полупроводников: вакуумная сушка на уровне пластин, дегазация светодиодных чипов перед упаковкой

Новая область энергетики: спекание электродного материала литиевых аккумуляторов, вакуумный синтез электролита твердотельных аккумуляторов

Анализ и тестирование: оценка активности катализатора (тест на адсорбцию/десорбцию газа в вакуумной среде)

Университеты и научно-исследовательские институты: многостанционный сравнительный эксперимент, обучение моделированию высокотемпературной вакуумной среды

Технические параметры

Тестовые объекты и тестовые элементы

Тестовые объекты

Футеровка трубчатой ​​печи и уплотнительные элементы

Полупроводниковые пластины, фотоэлектрические кремниевые пластины, керамические подложки

Нанопорошковые материалы (такие как оксид графена, металлоорганические каркасы MOF)

Образцы высокотемпературных сплавов, образцы сверхпроводящих материалов

Тестовые задания

Время установления вакуума: время, необходимое для откачки от атмосферного давления до 10⁻³Па/10⁻⁵Па

Равномерность температуры: осевое распределение температуры трубчатой ​​печи (в пределах ±5℃ допускается)

Скорость дегазации материала: объем дегазации на единицу площади образца в условиях высокотемпературного вакуума.

Надежность уплотнения: скорость утечки на фланцевом соединении CF (≤1×10⁻⁹Па・м³/с)

Эффективность молекулярного насоса: испытание стабильности скорости откачки в различных диапазонах вакуума (секция низкого/высокого вакуума)